等離子設(shè)備中頻，射頻等離子處理機(jī)型；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉(zhuǎn)鼓等真空等離子處理設(shè)備和噴射、準(zhǔn)輝光、隧道、水平線多種常壓等離子處理設(shè)備；
等離子處理機(jī)具有高穩(wěn)定性、高性價(jià)比、高均勻性等諸多優(yōu)點(diǎn)。
特色鮮明的處理腔體形狀和電極結(jié)構(gòu)可以滿足不同形狀、不同材質(zhì)的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。
低溫等離子體表面處理設(shè)備、水平式低溫等離子體表面處理設(shè)備、卷對(duì)卷式低溫等離子體表面處理設(shè)備、以及大氣壓輝光放電表面處理設(shè)備一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率；
二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生；
八、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。1.表面等離子體波是在兩種界面附近存在的波，界面兩側(cè)的折射率分布對(duì)場(chǎng)分布有很大的影響，利用這一點(diǎn)能夠進(jìn)行傳感。目前利用Kretschmann結(jié)構(gòu)進(jìn)行生物傳感的技術(shù)已經(jīng)得到了極大的發(fā)展，這種傳感技術(shù)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏度高，檢測(cè)過程中無需標(biāo)記物，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品結(jié)合過程，傳感芯片可重復(fù)利用，響應(yīng)速度快等諸多特點(diǎn)。目前該技術(shù)可用于氣體、 液體和有機(jī)薄膜等分析，目前主要用于生命科學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域。目前市場(chǎng)上主要產(chǎn)品有瑞典Biocore AB公司生產(chǎn)的Biocore 3000等。

表面等離子體技術(shù)應(yīng)用

2.表面等離子體波具有局域分布的特性，而且其分布深度可小于波長(zhǎng)量級(jí)，突破衍射極限，使得表面等離子體波能夠應(yīng)用于制作亞波長(zhǎng)量級(jí)的光電子器件的生產(chǎn)，有利用光電子集成器件的制作。例如：可以制作亞波長(zhǎng)量級(jí)的波導(dǎo)，亞波長(zhǎng)量級(jí)的布拉克反射鏡,亞波長(zhǎng)量級(jí)的透鏡等。由于能夠突破極限，所以能夠應(yīng)用表面等離子體效應(yīng)來做近場(chǎng)顯微鏡，做曝光等等。

3.表面等離子體波在太陽能電池和LED等新型能源相關(guān)器件方面的應(yīng)用。目前可以在太陽能電池上利用表面等離子體效應(yīng)來提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率，同樣也可以在LED上應(yīng)用表面等離子體效應(yīng)提高其出光效率。如果能研制出商業(yè)化的產(chǎn)品，那么對(duì)于解決人類的能源問題，表面等離子體波也能貢獻(xiàn)自己的一份力量。