低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當(dāng)。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學(xué)反映所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。等離子清洗機與常規(guī)濕式清洗比較的主要優(yōu)點是：

①將氧作為清洗劑，它價格低也不需要進行處理;

②可連續(xù)供應(yīng)新鮮的處理氣體，不存在清洗劑的老化問題;

③封閉室式操作不要求特別的職業(yè)性安全措麓;

④因為不需要干燥，故能耗低;

⑤造成的廢料僅僅是少量的象CO2和H2O氣這樣的氣體。

因注意到的很重要的一點是無任何濺射發(fā)生。有機物的清洗僅僅由它同活性氧的化學(xué)反應(yīng)來實現(xiàn)。碳氫化合物的鏈分幾步陸續(xù)被破壞，*終形成的CO2和H2O氣體被真空泵抽走。不與處理氣體反應(yīng)的無機材料當(dāng)然不會被清除。等離子清洗機在運行的時候應(yīng)該要注意哪些事項呢?

1、正確設(shè)置等離子設(shè)備的運行參數(shù),按時設(shè)備使用說明書來執(zhí)行;

2、保護好等離子體的點火裝置,以確保等離子清洗機可以正常的啟動;

3、等離子設(shè)備在啟動前的準(zhǔn)備工作,要對相關(guān)的人員進行培訓(xùn),同時確保操作等離子清洗機的人員可以按照要求嚴格執(zhí)行各項操作;

4、在一次風(fēng)管沒有通風(fēng)的時候,等離子體的發(fā)生器運行時間不能超過設(shè)備說明書上面要求的時間,防止燒壞燃燒器,造成不必要的損失;

5、如果需要對等離子設(shè)備進行維護時請將等離子發(fā)生器進行斷電后再進行相應(yīng)的操作。

等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。