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技術(shù)交流

等離子處理機(jī)廢氣排放系統(tǒng)的方案

發(fā)布時(shí)間:2023/10/13 13:00:28 | 信息來源:
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大氣等離子處理機(jī)提供各種修改表面的方法


一、處理機(jī)對(duì)象經(jīng)等離子處理機(jī)之后是干燥的,可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率;


二、等離子處理機(jī)使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害,同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題;


三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性;


四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng),這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好;


五、使用等離子處理機(jī),可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)。


六、等離子處理機(jī)需要控制的真空度約為100Pa,這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高,加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑,這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝;


七、使用等離子處理機(jī),避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施,所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生;


八、等離子處理機(jī)可以不分處理對(duì)象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗;


九、在完成清洗去污的同時(shí),還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。大氣等離子處理機(jī)技術(shù)的特點(diǎn):




1. 均勻度高。大氣等離子是輝光式的等離子幕,直接作用于材料表面,實(shí)驗(yàn)證明,同一材料不同位置的處理均勻性很高,這一特性對(duì)于工業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行下一環(huán)節(jié)的貼合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。



2. 效果可控。大氣等離子有三種效果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣 組合,主要面向非金屬材料并且要求較高的表面親水效果時(shí)采用,比如玻璃,PET Film等。 二是選用 氬氣/氮?dú)?組合,主要面向各種金屬材料,如金線、銅線等。因氧氣的氧化作用,替換為此方案中的氮?dú)夂螅搯栴}可以得到有效控制。三是只采用氬氣的情況,只采用氬氣也可以實(shí)現(xiàn)表面改性,但是效果相對(duì)較弱。此為特殊情況,是少數(shù)工業(yè)客戶需要有限而均勻的表面改性時(shí)采用的方案。




3. 安全易用。大氣式等離子,也是低溫等離子,不會(huì)對(duì)材料表面造成損傷,例如對(duì)方阻值敏感的ITO Film材質(zhì)亦可處理。無電弧,無需真空腔體,也無需廢氣排放系統(tǒng),長時(shí)間使用并不會(huì)對(duì)操作人員造成身體損害。




4. 面積寬大。大氣等離子大可以處理2m寬的材料,可以滿足現(xiàn)有多數(shù)工業(yè)企業(yè)的需求。




5. 成本低廉。大氣等離子設(shè)備功耗低,運(yùn)行成本以氣體為主。以主要消耗氣體氬氣為例,同corona等離子氣體消耗量相比不足其1/20.一、等離子設(shè)備日常維護(hù)


(一) 等離子發(fā)生器的維護(hù)


定期清理等離子發(fā)生器內(nèi)部的外殼及排氣口灰塵。建議至少每月檢查一次;
定期更換等離子源體;
定期檢查掌握等離子發(fā)生器的加工系統(tǒng)參數(shù),確保其正常工作;
注意等離子源的調(diào)整,增大等離子體流量,經(jīng)常清洗導(dǎo)體;
(二)易損件維護(hù)


定期檢查并更換設(shè)備中的易損件,如膜片、密封圈、電極等,防止其損壞影響設(shè)備正常工作;
每半年對(duì)快門桿和氣壓控制進(jìn)行檢查和校準(zhǔn),避免出現(xiàn)誤差。
(三)其他維護(hù)注意事項(xiàng)


定期更換老化、損壞的電纜線;
定期校準(zhǔn)空氣壓力表和溫度計(jì)等,確保其精確度;
加油、更換機(jī)器油。
二、等離子設(shè)備故障排除


如果出現(xiàn)故障,需要先確定故障原因才能進(jìn)行修理。以下是常見故障排除方法:


(一)等離子體丟失或流量減少


檢查配合的真空泵是否正常開啟,系統(tǒng)管道是否漏氣。
檢查減壓閥門是否被堵塞;
檢查氧流量計(jì)、氣體流量計(jì)、陶瓷燃燒嘴等部件是否有損傷。
(二)設(shè)備火花分析效果差


先檢查離子發(fā)生器內(nèi)部是否有雜質(zhì);
調(diào)整電極間距,確認(rèn)裝置無松動(dòng)現(xiàn)象;
更換發(fā)光信號(hào)紙片窯。

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